第67回 UV/EB研究会

    催:

(一社)大阪ニュークリアサイエンス協会

   時:

平成291110日(金)  13:3019:00

    所:

住友クラブ

大阪市西区江戸堀1-13-10  Tel:06-6443-1986 
 
地下鉄四つ橋線肥後橋駅下車
A出口よりすぐ【アクセス地図】

参加費:

第1部 講演会 6,000

 協会会員及びUV/EB会員 3,000

 大学・公設研究機関 2,000

 放射線科学研究会会員、学生、一般市民 無料

第2部 技術交流会 3,500

  ◎参加を希望される方は、 参加申込みフォームからお申込み下さい。受付の返信が無い場合は、お手数ですがTEL/FAX等でご確認下さい。

542-0081 大阪市中央区南船場3丁目3番27号

電話 06-6282-3350  FAX 06-6282-3351

e-mail Address 

 

 

【講演の内容】 

 

 

 

 

第1部 講演会  13:30〜17:30
1.大気圧プラズマの応用技術と殺菌処理(50分)

       近畿大学 理工学部 武村祐一朗

 大気圧プラズマは、真空装置が不要であるためコストが低く、装置を小型にしやすいといった特徴があり、様々な応用がなされている。
応用技術としては表面処理、表面加工、有害物質分解、新物質創造、プラズマ治療、殺菌処理など幅広い分野で行われている。
本講演では大気圧プラズマに関する基礎的な解説とその応用技術について解説する。
 
2.Cryo-TEMと大気圧走査電顕(ASEM)による親水環境での観察:タンパク質・細胞・組織を中心として(50分)

産総研 バイオメディカル研究部門 構造生理研究室  佐藤 主税

 タンパク質分子と細胞を自然な親水環境で直接観察するために、クライオ透過電顕 (Cryo-TEM)による単粒子構造決定法と、水中が見える走査電子顕微鏡法(ASEM)とを開発し研究を進めている。
単粒子解析法によりイオンチャネル・受容体・細胞骨格・酸化ストレスセンサー等のタンパク質の構造を研究し、現在これらタンパク質のさらなる複合体の3次元構造を研究している。
さらに、これら複合体の離合集散を細胞・組織レベルで観察するため、電子線透過SiN薄膜越しに水中の細胞を観察するASEMを開発した。8nm分解能で水中で細胞・組織を観察した結果を紹介する。
 
3.量子ビーム技術による高分子材料の微細加工研究(50分)

国立研究開発法人 量子科学技術研究開発機構 大山 智子

 量子ビーム(高精度に制御された放射線・光)は、高分子材料の精密な微細加工技術や改質・機能化技術に広く活用されている。
本講演では、半導体製造ラインに近く導入される極端紫外線(EUV)リソグラフィと、再生医療・創薬・診断等の幅広い分野で需要が高まる機能性バイオデバイス開発という、量子ビーム微細加工技術の2つの先端応用研究について紹介する。
 
 
4.実用化直前のEUVリソグラフィの展望:EUV リソグラフィと放射線化学(50分)

大阪大学産業科学研究所 田川 精一

 AI、IoT、ビッグデータ活用等の半導体利用分野の急速な進展と拡大が期待され、これらを支える半導体の性能と製造プロセスの高度化、特に、半導体製造の中核技術で、製造コストの最も大きな割合を占めるリソグラフィの高度化、特にEUVリソグラフィの早期の実用化が強く求められてきた。新聞報道等で、電離放射線を用いた初めての半導体量産プロセスとなる EUVリソグラフィが2018年から開始される。
放射線利用の中で突出して巨大な経済規模を持ち、最先端の放射線技術の塊である EUVリソグラフィの最近の急進展と実用化直前の状況、 EUV リソグラフィ以前の放射線を用いたリソグラフィである電子線・ X 線リソグラフィも含め、リソグラフィと放射線化学の深いかかわりと今後の進展について、PSCARプロセスも含め展望する。
 
第2部 技術交流会 17:30〜19:00

 

 

 

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